Hexafluorure de tungstène

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Hexafluorure de tungstène
Wolframhexafluorid.svg     Tungsten-hexafluoride-3D-balls.png
Structure de l'hexafluorure de tungstène
Identification
Nom IUPAC Hexafluorure de tungstène
No CAS 7783-82-6
No EINECS 232-029-1
Apparence Gaz incolore
liquide jaune pâle sous 17 °C
Cristaux blancs sous °C
Propriétés chimiques
Formule brute F6W
Masse molaire[1] 297,83 ± 0,01 g/mol
F 38,27 %, W 61,73 %,
Propriétés physiques
fusion 2,3 °C[2]
ébullition 17,1 °C[2]
Solubilité se décompose dans l'eau[2]
Masse volumique 3,430 kg·l-1 (liquide, 17,1 °C)[2]
Pression de vapeur saturante 1,132 bar à 20 °C
1,6 bar à 30 °C[2]
Précautions
Directive 67/548/EEC
Très toxique
T+
Corrosif
C



Transport[2]
268
   2196   
Écotoxicologie
CL50 1350mg/m3 (souris, inhalation)[3]
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.


L'hexafluorure de tungstène est un composé chimique inorganique de formule brute WF6. Cet hexafluorure est un gaz incolore au conditions naturelles de température et pression, c'est-à-dire sous une pression de 1 atm et à température ambiante. Avec une densité d'environ 10,3 (par rapport à l'air), c'est même aux conditions normales, un des gaz les plus lourds connus. Il est, à titre d'exemple, 11 fois plus lourd que l'air.

Le WF6 est utilisés le plus souvent pour la production de certains circuits électroniques et plus précisément au cours de procédés de dépôts chimiques en phase vapeur dans le but de produire une couche de tungstène métallique ou de siliciures de tungstène. Cette couche à faible résistivité permet ensuite les interconnexions.

Notes et références[modifier | modifier le code]

  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. a, b, c, d, e et f Entrée du numéro CAS « 7783-82-6 » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais), accès le 30/11/2008 (JavaScript nécessaire)
  3. "Spravochnik po Toksikologii i Gigienicheskim Normativam Vol. -, Pg. 43, 1999.