Évaporation par faisceau d'électrons

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L’évaporation par faisceau d'électrons est une technique qui consiste à évaporer un matériau placé dans un creuset porté à haute température, soit par un courant traversant une nacelle résistive (effet Joule), soit par le bombardement d'un faisceau d'électrons.

[modifier] Voir aussi

Electron beam physical vapor deposition

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