Pompe à vide

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Une pompe à vide est un outil permettant de faire le vide, c'est-à-dire d'extraire l'air ou tout autre gaz contenu dans une enceinte close, afin d'en diminuer la pression.

Quels gaz[modifier | modifier le code]

Les gaz à évacuer sont d'une part ceux présents au début de la mise sous vide (généralement à la pression atmosphérique) et d'autre part ceux émanant de phénomènes tels que le dégazage naturel des parois sous vide (voire de zones qui sont chauffées), des fuites éventuelles (réelles ou virtuelles), de la perméabilité des joints ou des parois, voire d'introduction volontaire de gaz (procédés de fabrication ou de traitement, dans le domaine des semi-conducteurs par exemple), de l'évaporation de graisse.

Type de pompes[modifier | modifier le code]

Vue en coupe d'une pompe à vide turbomoléculaire.

Il existe différents systèmes de pompes à vide, dont le choix dépend entre autres de la qualité du vide désirée. Les technologies les plus courantes sont :

  • Pour avoir un vide secondaire :
  • pour avoir un ultravide :
    • pompe ionique
    • pompe à sublimation
    • pompe cryostatique
    • compresseur (pompe primaire pouvant être reliée à des pompes sèches et volumétriques)

Historique[modifier | modifier le code]

Voir aussi[modifier | modifier le code]

Liens externes[modifier | modifier le code]