Pompe à vide
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Une pompe à vide est un outil permettant de faire le vide, c'est-à-dire d'extraire l'air ou tout autre gaz contenu dans une enceinte close, afin d'en diminuer la pression.
Sommaire |
[modifier] Quels gaz
Les gaz à évacuer sont d'une part ceux présents au début de la mise sous vide (généralement à la pression atmosphérique) et d'autre part ceux émanant de phénomènes tels que le dégazage naturel des parois sous vide (voire de zones qui sont chauffées), des fuites éventuelles (réelles ou virtuelles), de la perméabilité des joints ou des parois, voire d'introduction volontaire de gaz (procédés de fabrication ou de traitement, dans le domaine des semi-conducteurs par exemple), de l'évaporation de graisse.
[modifier] Type de pompes
Il existe différents systèmes de pompes à vide, dont le choix dépend entre autres de la qualité du vide désirée. Les technologies les plus courantes sont :
- Pour avoir un vide primaire :
- éjecteurs à vide, pour le vide grossier, utilisant la vapeur ou un gaz comprimé
- trompe à eau (103 Pa)
- pompe à membrane (102 Pa)
- pompe à palettes (lubrifiées ou sèches) (10-2 Pa)
- pompe à piston
- pompe à anneau liquide
- pompe Roots
- pompe sèche (sans lubrifiant)
- Pour avoir un vide secondaire :
- pompes turbomoléculaires, moléculaires et hybrides, elle peuvent être conventionnelles sur roulements à billes ou sans contact grâce à l'utilisation de la sustentation magnétique,
- pompe à diffusion
- pour avoir un ultravide :
- pompe ionique
- pompe à sublimation
- pompe cryostatique
- piège à froid, ou pompe cryogénique.
[modifier] Historique
- 1659 : pompe à air de Robert Boyle
