Plasma par induction

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Diverses nanoparticules fabriquées par traitement au plasma par induction.

Les années 1960 ont marqué le développement des technologies au plasma chaud pour répondre aux besoins des programmes spatiaux. Parmi les différentes méthodes de génération du plasma chaud se trouvait celle du plasma par induction, la torche à plasma (plasma par induction couplée) a alors joué un rôle important.

Les premiers efforts pour maintenir du plasma par induction couplée sur un jet de gaz remonte à G. Babat[1] en 1947, et à T. Reed[2] en 1961. Les premières étapes des recherches se concentraient sur l'étude des mécanismes de couplage de l'énergie et des caractéristiques du courant, de la température, de la concentration du plasma. Dans les années 1980, avec la hausse de la demande en produit de haute performance et du fait d'autres questions scientifiques, l'intérêt pour l'utilisation du plasma par induction dans la production industrielle a augmenté. Plusieurs recherches et travaux furent menés pour passer de l'outil de laboratoire à l'intégration industrielle.

Sources[modifier | modifier le code]

Références[modifier | modifier le code]

Bibliographie[modifier | modifier le code]

  • G. I. Babat, Inst. Elec. Eng., vol. 27, Londres, , chap. 94
  • T. B. Reed, J. Appl. Phys., vol. 32, , chap. 821