Chlorosilane

Chlorosilane
Structure du chlorosilane
Identification
No CAS	13465-78-6
No ECHA	100.033.354
No CE	236-705-7
PubChem	61622
SMILES	[SiH3]Cl PubChem, vue 3D
InChI	Std. InChI : vue 3D InChI=1S/ClH3Si/c1-2/h2H3 Std. InChIKey : KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N
Propriétés chimiques
Formule	H3ClSi
Masse molaire	66,562 ± 0,003 g/mol H 4,54 %, Cl 53,26 %, Si 42,19 %,
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le chlorosilane est un composé chimique de formule SiH₃Cl. Plus généralement, les chlorosilanes désignent une famille de dérivés chlorés des silanes, possédant au moins une liaison Si–Cl, et très utilisés dans les procédés de synthèses de composés contenant du silicium. On les obtient par synthèse de Müller-Rochow, ou synthèse directe, consistant à traiter du silicium avec du chlorure d'hydrogène HCl en présence d'un catalyseur au cuivre à haute température (environ 300 °C) ; le principal produit de la réaction est le trichlorosilane SiHCl₃ :

Si + 3 HCl → SiHCl₃ + H₂,

mais il se forme également du dichlorosilane SiH₂Cl₂ et du tétrachlorure de silicium SiCl₄.

Le trichlorosilane SiHCl₃ et le tétrachlorure de silicium SiCl₄ sont utilisés notamment par l'industrie des semi-conducteurs pour produire du silicium ultrapur après distillation fractionnée et réduction des chlorures à l'hydrogène H₂.