Fichier:Phase Shift Mask (4 types) N.PNG

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Description

Description
English: Phase Shift Mask (4 types) Non-text

1.Binary mask 2.Phase Shift mask 3.Etched Quartz mask(Levenson mask) 4.Half-tone mask

(Top) Mask, (Red) Light Energy/Phase on Mask, (Blue) Light Energy/Phase on Wafer, (Green) Light Power on Wafer, (Bottom) Resist on Silicon Wafer
Date
Source Made by uploader (ref: [1], [2], [3], [4], [5], [6], 「システムLSIのできるまで」編集委員会編著、『システムLSIのできるまで』、日刊工業新聞社、2002年12月10日初版発行、ISBN 4526050482)
Auteur Shigeru23

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actuel23 avril 2011 à 11:33Vignette pour la version du 23 avril 2011 à 11:331 500 × 700 (84 kio)Shigeru23{{Information |Description ={{en|1=Phase Shift Mask (4 types) Non-text<br /> 1.Binary mask 2.Phase Shift mask 3.Etched Quartz mask(Levenson mask) 4.Half-tone mask<br /> (Top) Mask, (Red) Light Energy/Phase on Mask, (Blue) Light Energy/Phase o

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