Dichlorosilane

Dichlorosilane
Structure du dichlorosilane
Identification
Nom UICPA	dichlorosilane
Synonymes	DCS
No CAS	4109-96-0
No ECHA	100.021.717
No CE	223-888-3
PubChem	61330
SMILES	[SiH2](Cl)Cl PubChem, vue 3D
InChI	Std. InChI : vue 3D InChI=1S/Cl2H2Si/c1-3-2/h3H2 Std. InChIKey : MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N
Apparence	gaz incolore d'odeur piquante
Propriétés chimiques
Formule	H2Cl2Si  [Isomères]
Masse molaire	101,007 ± 0,004 g/mol H 2 %, Cl 70,2 %, Si 27,81 %,
Propriétés physiques
T° fusion	−122 °C
T° ébullition	8,4 °C
Solubilité	hydrolyse
Masse volumique	1,261 g·cm-3
T° d'auto-inflammation	184 °C
Point d’éclair	−28 °C
Limites d’explosivité dans l’air	de 2,5 % vol. à 80,0 % vol.
Pression de vapeur saturante	166,6 kPa à 20 °C
Point critique	176,3 °C, 4,378 MPa, 0,479 g·cm-3
Précautions
SGH
Danger H220, H280, H314, H330, EUH071, P210, P260, P280, P315, P377, P381, P303+P361+P353, P304+P340, P305+P351+P338, P403 et P405 H220 : Gaz extrêmement inflammable H280 : Contient un gaz sous pression ; peut exploser sous l'effet de la chaleur H314 : Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires H330 : Mortel par inhalation EUH071 : Corrosif pour les voies respiratoires P210 : Tenir à l’écart de la chaleur/des étincelles/des flammes nues/des surfaces chaudes. — Ne pas fumer. P260 : Ne pas respirer les poussières/fumées/gaz/brouillards/vapeurs/aérosols. P280 : Porter des gants de protection/des vêtements de protection/un équipement de protection des yeux/du visage. P315 : Consulter immédiatement un médecin. P377 : Fuite de gaz enflammé : Ne pas éteindre si la fuite ne peut pas être arrêtée sans danger. P381 : Éliminer toutes les sources d’ignition si cela est faisable sans danger. P303+P361+P353 : En cas de contact avec la peau (ou les cheveux) : enlever immédiatement les vêtements contaminés. Rincer la peau à l’eau/se doucher. P304+P340 : En cas d'inhalation : transporter la victime à l’extérieur et la maintenir au repos dans une position où elle peut confortablement respirer. P305+P351+P338 : En cas de contact avec les yeux : rincer avec précaution à l’eau pendant plusieurs minutes. Enlever les lentilles de contact si la victime en porte et si elles peuvent être facilement enlevées. Continuer à rincer. P403 : Stocker dans un endroit bien ventilé. P405 : Garder sous clef.
Transport
263    2189    Code Kemler : 263 : gaz toxique, inflammable Numéro ONU : 2189 : DICHLOROSILANE Classe : 2.3 Étiquette : 2.3 : Gaz toxiques (correspond aux groupes désignés par un T majuscule, c'est-à-dire T, TF, TC, TO, TFC et TOC). Emballage : -
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le dichlorosilane est un composé chimique de formule SiH₂Cl₂. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore d'odeur piquante extrêmement inflammable et susceptible de former des mélanges explosifs avec l'air. Il est principalement utilisé dans l'industrie microélectronique avec l'ammoniac NH₃ pour déposer des couches minces de nitrure de silicium Si₃N₄ par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) :

3 SiH₂Cl₂ + 4 NH₃ → Si₃N₄ + 6 HCl + 6 H₂.

Il est produit essentiellement par dismutation du trichlorosilane SiHCl₃ avec formation parallèle de tétrachlorure de silicium SiCl₄ :

2 SiHCl₃  $\rightleftharpoons$  SiH₂Cl₂ + SiCl₄.