Triméthylsilane

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Triméthylsilane
Trimethylsilane.svg   Trimethylsilane-3D-balls.png
Structure du triméthylsilane
Identification
Nom IUPAC triméthylsilane
No CAS 993-07-7
No EINECS 213-603-0
PubChem 70435
SMILES
InChI
Apparence gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse
Propriétés chimiques
Formule brute C3H10Si  [Isomères]
Masse molaire[1] 74,197 ± 0,0034 g/mol
C 48,56 %, H 13,58 %, Si 37,85 %,
Propriétés physiques
fusion -135,89 °C[2]
ébullition 6,7 °C[2]
Masse volumique 0,635 g·cm-3[2]
(liquide à l'ébullition)
d'auto-inflammation 235 °C[2]
Pression de vapeur saturante 156,9 kPa[2] à 20 °C
Précautions
Directive 67/548/EEC[2]
Extrêmement inflammable
F+


Transport[2]
23
   3161   
SGH[2]
SGH02 : InflammableSGH04 : Gaz
Danger
H220, H280, P210, P377, P381, P403,
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le triméthylsilane est un composé chimique de formule SiH(CH3)3. Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse, très inflammable, susceptible de s'enflammer spontanément en présence d'impuretés et formant des mélanges explosifs avec l'air.

Il peut être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure au plasma[3].

Notes et références[modifier | modifier le code]

  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. a, b, c, d, e, f, g et h Entrée de « Trimethylsilane » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais), accès le 16 décembre 2012 (JavaScript nécessaire)
  3. (en) Sheng-Wen Chen, Yu-Sheng Wang, Shao-Yu Hu, Wen-Hsi Lee, Chieh-Cheng Chi et Ying-Lang Wang, « A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films », Materials, vol. 5, no 3,‎ 2012, p. 377-384 (lire en ligne) DOI:10.3390/ma5030377