SU-8

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Le SU-8 est une résine photosensible négative couramment utilisée dans la fabrication de micro-systèmes. Il s'agit d'un polymère très visqueux qui peut être tourné ou étalé sur une épaisseur allant de 1 micromètre à 2 millimètres. Elle peut aussi être utilisée pour réaliser des motifs de structures à rapport d'aspect élevé (> 20)[1]. Son pic d'absorption maximale se situe dans l'ultraviolet, pour une longueur d'onde de 365 nm. Lorsqu'elle est exposée, les longues chaînes moléculaires de la résine SU-8 réticulent ce qui solidifie le matériau.

La SU-8 est principalement utilisée dans la fabrication de composants microfluidiques ou de MEMS. Il s'agit également de l'un des matériaux les plus bio-compatibles, ce qui explique pourquoi il est souvent utilisé dans les bio-MEMS.

Notes et références[modifier | modifier le code]

  1. J. Liu et al., Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist, vol. 10 (4), Microsystem Technologies,‎ 2004 (lire en ligne), p. 265