Microfabrication

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La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structure de l'ordre du micromètre et en dessous.

En général on distingue les techniques de microélectronique et ses dérivés, utilisés par exemple pour la fabrication des puces électroniques, des microsystèmes et des diodes laser, et les autres techniques dérivant des techniques d'usinage traditionnelles.

Pour les technologies de fabrication dérivant de la microélectroniques, des plaquettes de silicium sont généralement utilisés comme substrat. On structure ensuite le dispositif par une succession d'étapes de dépôt et de mise en forme par photolithographie et gravure sèche ou humide.

Les principales spécificités des technologies de microsystèmes, comparées à la microélectronique, sont liées à la réalisation de parties mobiles, donc relativement détachées du substrat, ce qui s'obtient généralement par recours à une couche sacrificielle.