Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologie

Un article de Wikipédia, l'encyclopédie libre.
Aller à : navigation, rechercher
IEMN
Image illustrative de l'article Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologie

Siège Villeneuve-d'Ascq
Coordonnées 50° 36′ 13″ N 3° 08′ 16″ E / 50.603698, 3.1377 ()50° 36′ 13″ Nord 3° 08′ 16″ Est / 50.603698, 3.1377 ()  
Rattachement Université de Lille I
CNRS UMR CNRS 8520
Directeur Lionel Buchaillot
Disciplines Micro-électronique, Nanotechnologie
Site web www.iemn.univ-lille1.fr

Géolocalisation sur la carte : Nord

(Voir situation sur carte : Nord)
IEMN

L'Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie ou IEMN est un institut de recherche dont le laboratoire central est situé à Villeneuve-d'Ascq près de Lille, à 200 mètres de l'École centrale de Lille et de Polytech'Lille. Les domaines de recherches couvrent la physique, l'électronique, les microtechnologies ainsi que les nanotechnologies.

L’IEMN est une Unité mixte de recherche CNRS. Il comprend plus de 500 personnes, dont 112 professeurs et maîtres de conférences, 46 chercheurs CNRS, 112 ingénieurs et techniciens, près de 200 doctorants et post-doctorants.

Historique[modifier | modifier le code]

Ancien logo

L’IEMN a été créée le 1er janvier 1992 par le Centre national de la recherche scientifique (CNRS), l'université des sciences et technologies de Lille (USTL), l'université de Valenciennes (UVHC) et l'Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN). Il est l'un des grands instituts de recherche de l'Université Lille Nord de France.

L'IEMN fusionne trois laboratoires :

  • le Centre Hyperfréquences et Semiconducteurs de l'université des Sciences et Technologies de Lille, correspondant aujourd'hui au Département DHS,
  • le Laboratoire d'Opto-Acousto-Électronique de l'université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, correspondant aujourd'hui au Département OAE,
  • le Laboratoire d'études sur les surfaces et interfaces de l'Institut supérieur d'électronique et du numérique, correspondant aujourd'hui au Département ISEN.

Son nom est alors Institut d'Électronique et de Microélectronique du Nord[1].

En regroupant en une structure unique l'essentiel de la recherche régionale dans ces domaines, l'IEMN constitue un pôle de taille européenne.

En janvier 2010, le directeur Alain Cappy a laissé sa place au nouveau directeur, Lionel Buchaillot[2].

Organisation de la recherche[modifier | modifier le code]

Le bâtiment principal de l'IEMN
Le directeur Lionel Buchaillot pendant un discours officiel en 2012
Micro-système
Équipement de salle grise
Équipement de salle blanche : implanteur d'ions

L’IEMN est composée de 18 groupes de recherches qui se répartissent dans cinq axes :

  • Physique des nanostructures
  • Microsystèmes et nanosystèmes
  • Microélectronique,nanoélectronique et optoélectronique
  • Systèmes de communication et application micro-ondes
  • Acoustique

Formation par la recherche[modifier | modifier le code]

L'IEMN est associé au Master Micro-électroniques-Nanotechnologies-Télécom (MiNT), formant « aux métiers d'ingénieur et de chercheur, dans les secteurs de l’électronique, des nanotechnologies et des télécommunications ».

  • spécialité Micro et Nanotechnologies[3]
  • spécialité télécoms[4]
  • spécialité Système de communications Radio Fréquence[5]

Le Master MiNT ouvre à ses diplômés la possibilité directe de poursuivre une formation par la recherche à l'IEMN menant au doctorat dans le cadre de l'École doctorale des sciences pour l'ingénieur (ED-072 SPI) Lille Nord de France.

Réalisations[modifier | modifier le code]

L'IEMN réalise, en mai 2009, la plus petite et la plus performante pile à combustible au monde, de la taille de l'ongle d'un nourrisson[6].

Thématiques émergentes[modifier | modifier le code]

Dans le cadre du Grand emprunt 2010, l'IEMN bénéficie du financement de deux nouvelles machines d'État, par le biais des Equipex[7]. L'Equipex est un appel à projet pour doter la France d'équipements scientifiques de qualité. Le renouvellement de machines est une condition de la compétitivité au niveau international.

  • « Leaf » : Développement de la recherche sur l'électronique flexible
  • « Excelsior » : Développement des systèmes de mesure à l'échelle nanométrique.

Étant un matériau d'avenir, le graphène est l'objet de nombreuses recherches. De nouvelles applications seront possibles dans de nombreux domaines grâce à ses propriétés mécaniques et électriques. L'IEMN fait partie des 15 laboratoires français retenus pour ce projet[8], financé par l'Union Européenne à hauteur d'un milliard d'euro.

Centrale de technologie[modifier | modifier le code]

Equipements et environnement de la Centrale de Technologie de l'IEMN

La centrale de technologie est une salle blanche de 1600 m²[9]. Cette centrale est animée par une équipe de 26 techniciens et ingénieurs auxquels s'ajoutent environ 130 chercheurs, enseignants-chercheurs, thésards, stagiaire et post-doctorants. Elle regroupe ainsi du savoir-faire et de l'expertise dans la microélectronique et les nanotechnologies. Chaque année, elle réalise plus de 100 projets. La Centrale de Technologie de l'IEMN est l'une des plus importantes de France et d'Europe[10].

Elle répond à une certification Veritas de niveau ISO 6 pour sa salle blanche (ISO 14644).

Elle est l'une des six centrales du réseau RENATECH[11]

Objectif[modifier | modifier le code]

La Centrale de Technologie a été créée dans le but de mettre à disposition un support technologique pour les équipes de recherche de l'IEMN[12].

Dans le cadre de la création du Réseau National des Grandes Centrales de Technologie (RENATECH), elle est devenue en 2003 une Plateforme Technologique Nationale ouverte aux laboratoires académiques. Elle est également ouverte aux laboratoires industriels nationaux et internationaux, ainsi qu'aux PME et PMI régionales, dans le cadre de collaborations de recherche.

Organisation[modifier | modifier le code]

La centrale de technologie est organisée sous la forme de six grandes « Ressources » :

  • La ressource « Matériaux »
  • La ressource « Dépôt »
  • La ressource « Gravure »
  • La ressource « Lithographie »
  • La ressource « Intégration »
  • La ressource « Caractérisation »

Les « ressources » sont un regroupement d’appareillages ou d’un ensemble de plusieurs bâtis gérés par une équipe. Chacune de ces ressources correspond à une compétence particulière.

Exemple de machines & procédés[modifier | modifier le code]

La Centrale de Technologie regroupe près de 70 équipements lourds[13]. Ces équipements sont les moyens qui permettent aux équipes de recherche de la Centrale de concevoir et réaliser des dispositifs semi-conducteur.

Par exemple :

Utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, l'implanteur ionique permet de transposer des ions d'un matériau vers un autre. Cela permet de modifier les propriétés chimiques de la cible.
L’ALD est une technique de dépôt de couches atomiques. Cette technique permet de créer des couches ultra minces en exposant une surface à une alternance de précurseurs chimiques.
Compétence principale et originelle de la Centrale de Technologie de l'IEMN, cette technique permet d'envoyer des éléments purs par jets moléculaires sur un substrat pour développer une croissance epitaxiale de matériaux III/V.
la lithographie électronique permet de faire des motifs dans des matériaux avec une sensibilité électronique (résine électronique) de taille nanométrique en utilisant un faisceau d'électron contrairement à la lithographie optique qui utilise un faisceau de photon.

Notes et références[modifier | modifier le code]

Voir aussi[modifier | modifier le code]

Sur les autres projets Wikimedia :

Articles connexes[modifier | modifier le code]

Liens externes[modifier | modifier le code]